クリーン保管車 TAS-212 CSV-HM/TAS-213 CSV-HL
ウェハー運搬中のコンタミ防止!クリーン度クラス10以下!静電気±10V以下!究極のクリーン環境で保管・搬送を実現!
半導体に代表される精密分野や、バイオに関連する医療分野では静電気と異物混入が大きな問題となっています。
そのため加工工程や処理工程においては様々な静電気・異物対策が行われている反面、工程間の保管や運搬中の対策は見落とされていました。
クリーン保管車は、庫内に高い清浄空間を実現します。新しい大気圧アース機能を開発し外部から異物の侵入する可能性をゼロに抑えています。また、ワークの出し入れ時にも外部のホコリを吸い込まない気圧設計になっています。各棚には独立したイオナイザーを装備し静電気対策も万全です。
新しい無線アース技術により運搬中の静電気発生も完全に抑え究極の保管と運搬が実現できます。
資料請求番号:19550