3D白色干渉顕微鏡Opt-Scope (オプトスコープ)NEXシリーズ | |
サブナノ粗さからミリ形状まで
Opt-Scopeは、レンズ倍率に関わらず垂直方向に一律0.01nmと高分解能、ナノ表面性状を低倍率レンズで測定が可能です。測定対象物は多岐にわたり、サブナノ表面性状が多く存在する半導体関連部品、ナノからミクロンまで様々な表面性状が存在する自動車関連部品などがあります。新シリーズOpt-Scope NEXは、同社接触式表面粗さ測定機 SURFCOM NEX(DX2/SD2)で培った、拡張性やユーザビリティに優れるNEXプラットフォームを採用しています。これまで設置が難しかった高さのある大型ワーク測定が可能となるほか、ベース・コラムサイズや測定部の広い上下動ストローク、コラムの電動左右送りやXY電動ステージ対応により、さまざまなアプローチで自動化・省力化を実現できる拡張性の高いプラットフォームシステムです。
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資料請求番号:22850 | |