ＤＭＴシリーズは、超薄型で低重心、そして大中空径が特長のダイレクトドライブモータで、高分解能で優れた位置決め精度を誇ります。高精度を要求される半導体製造工程やＡＯＩ検査装置への使用に適しています。２３年６月より受注・ 販売を開始したＤＭＴＫ３は、従来ラインアップに比べ中空径が３４０ｍｍに広がったことから、１２インチウエハを中空径に通すことができ、さらに自由度の高い装置設計に役立てていただける製品です。例えば同社リニアモータと組み合わせて、比較的容易に全高２５０ｍｍ程度の高精度 ＸＹΘステージを組むことができ、装置の省スペース化や低重心化だけでなく、剛性向上にも寄与します。